- Hindrik de Vries - SALD B.V., Eindhoven, Niederlande
Die Atomlagenabscheidung (ALD) ist eine Technologie, die sehr dünne, konforme Schichten mit einer Kontrolle der Dicke und Zusammensetzung auf atomarer Ebene erzeugt. SoLayTec, ein Spin-Off-Unternehmen von TNO, hat eine spezielle räumliche ALD-Plattform für die Abscheidung von Passivierungsschichten in Silizium-Solarzellen entwickelt. Das 2019 gegründete Schwesterunternehmen SALD B.V. konzentriert sich auf neue Anwendungen der räumlichen ALD (s-ALD). Daher wurde eine vielseitigere "SALD-Plattform" entwickelt, die eine robuste Handhabung und Verarbeitung von flexiblen und porösen Substraten ermöglicht.
In diesem Vortrag möchte ich einen Überblick über die allgemeinen Fortschritte der s-ALD geben, wobei der Schwerpunkt auf der Verarbeitung bei niedrigen Temperaturen liegt, um eine Kompatibilität mit polymeren Substraten zu erreichen. Unsere neuartige SALD-Plattform ist gut auf die Rolle-zu-Rolle-Verarbeitung mit hohem Durchsatz abgestimmt, die neue Wege in der Oberflächentechnik neuartiger Materialien eröffnen kann. Das Rolle-zu-Rolle s-ALD-System wird derzeit zusammen mit einem deutschen Partner für die großtechnische Verarbeitung entwickelt. Darüber hinaus werde ich einige interessante Beispiele für die Anwendung von s-ALD auf Textilien und Membranen vorstellen.